| 机加工类型：CNC加工中心 | 最大直径：100000mm | 最大长度：100000mm |
| 公差：0.0001 | 加工精度：超精密加工 | 超精密加工：软磨粒机械化学抛光 |
| 年剩余加工能力：10000件 | 年最大加工能力：100000件 |
静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护；静电吸附单元电极采用高频导体，表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜，另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜，在***输出稳定，同时避免高压静电压尖锐击穿。静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护；静电吸附单元电极采用高频导体，表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜，另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜，在***输出稳定，同时避免高压静电压尖锐击穿。
